據臺媒報道,今日上午10點20分,位于中國臺灣新竹科學園區的亞東氣體發生起火事件。火勢在上午11時許一度變得十分猛烈,整棟廠房都被大火及濃煙吞噬。根據當地居民說法,疑似聽到3聲爆炸聲,后續工廠就不斷冒出火光和濃煙,甚至數公里外都看得見。亞東氣體指出,目前工廠停工、無人員傷亡,目前也沒有供應氣體,無氣體擴散疑慮,但因火勢燃燒超過1小時,廠房RC結構恐怕受損,還需要待火勢撲滅后,才能確認是否有倒塌疑慮,以及厘清起火原因。臺積電、聯電等半導體業晶圓廠制程需要用到的氮氣、氨氣、氫氣,還有制程中CVD、Etch會用到特殊氣體,亞東氣體均有供應,是否會影響到半導體的氣體供應,有待災損的情況而定。
現場救災人員表示,這是多年來竹科園最嚴重的火災案,因變壓器故障引發爆炸起火,內中有很多絕緣油,這非常難滅,目前約動員1百多個消防人員救災中,整棟廠房尚在燃燒中。
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外傳因亞東氣體大火造成竹科大規模停電?對此,竹科管理局表示,亞東氣體廠區內變電器發生火災,連帶影響竹科發生C級壓降,目前警消人員已緊急前往灌救和處理。據臺電壓降等級分類,C級壓降是壓降持續時間落于0.05秒到1.0秒之間的壓降事件。關于當日上午發生的短暫壓降,世界先進回復說,公司部分機臺有停機進行檢查,目前已陸續復機中,對生產影響有限。力積電表示,有加裝不斷電系統的機臺,隨即馬上啟動,但未加裝的機臺受到約80多毫秒壓降的影響,實際的報廢晶圓片還在評估中,但依照過去經驗來看,通常影響不大,且認為明天應該都會恢復正常。臺積電、聯電則表示,由于壓降時間非常短,產線未受影響,目前生產一切正常。
亞東氣體(Air Liquide Far Eastern) 是由法國液化空氣集團與遠紡集團于1987年在臺灣成立的合資公司。2020年,法液空集團宣布投資2億歐元分別在臺灣的臺南和新竹科學園建設工廠,包括為新竹科技園的一些邏輯IC芯片研發工廠供氣。據悉,法液空通過其控股的遠東氣體在新竹建設兩個大型工廠主要生產高純氮氣和氬氣,新增12萬標準立方米/小時的高純氮氣。